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Vacuum Control
Vacuum Control
Catalog 2005 - 2006
Vacuum GauGes, ValVes,
FittinGs and FeedthrouGhs
Vacuum Control Catalog 2007-2008 - i
Vacuum Control Catalog
Contents
Table of Contents
VACUUM GAUGES
SKY
®
Capacitance Diaphragm Gauge
CDG025D, CDG025D-S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A1
CDG045 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A5
CDG100A / CDG100A-S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A8
AllCeramic CDG025-C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A12
AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A14
Bayard-Alpert Pirani Gauge
BPG400 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A17
BPG402-S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A21
High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge
HPG400 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A25
Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
TripleGauge® BCG450 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A29
Pirani Standard Gauge
PSG050 / PSG051 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A35
PSG100-S, PSG101-S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A37
PSG500, PSG500-S, PSG502-S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A39
Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
PCG400, PCG410 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A43
Penning Gauge
PEG100 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A47
Inverted Magnetron Pirani Gauge
MPG400/401 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A50
Vacuum Gauge Controllers
VGC401, VGC402, VGC403 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A53
Vacuum Switch
VSA100A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A55
VSC150A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A57 Vacuum Control Catalog
Contents
Vacuum Control Catalog 2007-2008 - ii
VACUUM Feedthroughs
Rotary Feedthroughs ISO-KF / ISO-K
FRH DN 16 - DN 63 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B1
Rotary Feedthroughs CF
FRU DN 16 - DN 40 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B3
Rotary/Linear Motion Feedthroughs ISO-KF
FCH DN 16 - DN 40 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B5
Linear Motion Feedthroughs CF
FPU DN 16 - DN 40 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B7
Electrical Feedthroughs
DN 16 ISO-KF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B9
DN 40 ISO KF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B11
DN 16 CF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B13
DN 40 CF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B15
DN 40 ISO KF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B17
Coaxial Feedthroughs ISO-KF / CF-F
BNC / MHV DN 16 - 40 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B19
Vacuum Feedthroughs
Metal-Ceramic Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B21
Liquid Feedthroughs ISO-KF / CF-F
DN 40 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B23
Viewports
DN 25 - DN 50 ISO-KF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B25
DN 63 - DN 160 ISO-K . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B27
DN 16 - DN 160 CF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B29
DN 63 - DN 160 ISO-F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B31
Vacuum Feedthroughs
Vacuum Ball Bearings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B33
Lubricants And Sealing Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B35 Vacuum Control Catalog 2007-2008 - iii
Vacuum Control Catalog
Contents
VACUUM VALVES
Angle and Inline Valves ( VAH, VAP, VAM, VIM)
ISO-KF DN 5 manually, pnematically, solenoid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C1
Angle and Inline Valves ( VAH, VIH, VAP, VIP)
ISO-KF DN16 - 40 manually . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C4
ISO-KF DN16 - 40 pneumatically . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C8
ISO-KF DN16 - 40 solenoid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12
ISO-KF DN63 manually, pneumatically . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C14
ISO-KF DN100 manually, pneumatically . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C17
ISO-KF DN160 pneumatically . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C20
ISO-KF DN250 pneumatically . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C22
Butterfly Valves (VBH, VBP)
ISO-F DN63 - 160 manually . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C24
ISO-F DN63 - 250 pneumatically . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C26
Dosing Valves (VDH)
ISO-KF DN10 manually (coarse gas dosing) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C32
ISO-KF DN16 manually (fine gas dosing / shut-off) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C33
Dosing Systems (VDM, VDE, VCE, VCC, VCA)
All-Metal Dosing Valves and System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C35
Gas Dosing Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .